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前言本规范是根据原设部《关于印发(2005年工程设标准规范制订,修订计划(第二批))的通知》(标函〔2005)124号)的要求,由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司会同中国电子工程设计研究院、上海电子工程设计研究院有限公司和北京北方佳云净水设备有限公司共同编制完成。本规范在编制过程中,编制组认真贯彻国家基本设方针和有关环保,节水要求,在认真、全面调查我国电子工业纯水系统的设计和使用现状的基础上,广泛征求国内各设计院,工程公司、生产厂商和使用单位的意见,参考相关国际标准,最后经审查定稿。本规范共分8章和2个附录。主要内容包括:总则,术语,纯水制备工艺,纯水输送和分配,纯水回收和节水,纯水站房,药品贮存,计量和输送,控制及仪表等。本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文,必须严格执行本规范由住房和城乡设部负责管理和对强制性条文的解称,由工业和信息化部负责日常管理,由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司负责具体技术内容的解释,在执行本规范过程中,请各单位结合技术进步和具体的工程实毁,认真总结积累经验,如发现需要修改或补充之处,请将意见和议寄送信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司(地址:四川省成都市新华大道双林路251号:邮政编码:610021:传真:02884333172),以便今后修订时参考,本规范主编单位,参编单位、主要起草人和主要审查人:主编单位:信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司。1理览ZC.ET
7 Chemical storage,metering and transfer.....(24)7.General requirement4……《24)7.2 Acid.alkaline and salt..............(24)1总8 Control and instrumentation...................(26)8.1 General requirement....(26)8.2 Design and selection of monitoring system for pure1,0,1为确保电子工业纯水系统出水满足电子产品生产工艺要water plant.44…(26)求,确保电子工业纯水系统的设计做到技术先进,安全适用、经济8.3 Design of site control system and central monitoring合理、操作方便,制定本规范。sy就m44444…(27)1,0.2本规范适用于新,扩和改的电子工业纯水系统的工8.4 instrument setup…4+44……(28)程设计,Appendix A Water quality full analysis report ........(29)1,0.3电子工业纯水系统设计应贯彻执行国家的技术经济政策,Appendix B Ion exchanger design parameters*…4…(30》合理选择水源,节约能源,节约用水,节约用地,保护环境,安全卫Explanation of wording in this code40tm+4+4*44+4…(34)生,提高经济效益List of quoted standards .......1.0.电子工业纯水系统设计应根主体程设规划、生产特Addition:Explanation of provisions点等综合确定,并应经技术经济比较,择优确定设计方案。当主体工程为分期设时,纯水系统应按最终容量(规模)统一规划、合理布局,分期实施。L,0,5电子工业纯水系统的设计应为施工安装,推护管理、检修检(监)测和安全运行创造必要的条件,1.0.6电子工业纯水系统的改,扩设计,应合理利用.改造原有设施。1,0,7纯水回收和节水设施宜与纯水制备系统统筹规划,并宜同时设计、同时施工、同时投运。1.0.8纯水系统排放的废水,应达到国家和地方排放标准后再排放。1.0.9电子工业纯水系统的工程设计,除应符合本规范外,尚应符合国家现行有关标准的规定,理筑Z.ZC.E1
2.0.9超滤(UF)ultrafiltration通常指在外压作用下,利用非对称性膜去除水中亚微米悬浮2术物的膜分离技术。超滤能截留分子量范围为儿百至几百万的溶质和微粒,多为大分子有机物和胶体2.01电子T业纯水pure water for electronie industry2.0.10反渗透(RO)reverse osmosis电子工业生产所需的纯化水的通称,根据生产需要的水质去在外加压力作用下,利用一种半透性薄膜使水分子和其他一除生产所不希望保留的各种离子以及其他杂质的水。些物质选择性透过,从而将绝大部分悬浮物和绝大部分溶解固形2.0.2电子工业纯水系统pure water system for electronic物(盐)截留去除的膜分离技术。2.0.11电脱盐(ED)electrodeionizationindustry制取和配送用于电子工业生产纯水的系统,通常包括纯水制一种利用装填阳、阴混合离子交换树脂或离子交换无纺布,在备、纯水的输送和分配,纯水的回收和处理的系统直流电场作用下连续去除水中离子而不需要专门再生的除盐装置2.0.3软化水soft water的统称地年分新玉靴2.0.12_紫外线杀菌UV sterilization2.0.4淤塞指数(SDI)silt density inde通过议长254中的紫外线照射杀水中的活菌为紫外线杀保证反渗透正常运行的进水承质重婆指标,它通过被测水样菌装置,对0.45m滤膜的淤塞程度间接表征造成反渗透膜而堵塞的水中2.0.13紫外线除有机碳UV-TOC Removal微量悬浮物,胶体的含量,又称污染指数FI通过波长185nm的紫外线照射分解纯水中的微量T(OC为紫2.0.5电阻率resistivity外线除TOC装置。度量水溶液阻止电流通过的能力,等于在一定温度下,一对截面积2.0.14膜脱气装置(MDG)membrane degasifier为1cmm的电极在lcm距离间的电阻值.其单位为?·am或Mn·cm利用膜分离技术降低水中挥发性溶解物质的装置,在电子工2.0.6电导率conduetivity业纯水系统中主要是脱除纯水中的溶解氧。度量水溶液导电的能力,等于电阻率的倒数,其单位为以/m2.0.15供水环路distribution loop或s/cm.为保证电子工业最终使用点的纯水水质和水压而采用的有附2.0.7总有机碳(TOC)total organie carbon加循环水量的不间断供水方式,最终使用点用水取自从终端过滤水中溶解性和悬浮性有机物中碳的总量,反映水中有机物含器到纯水水箱之间的闭合供水环路。供水环路一般由纯水精处理量的指标系统和供、回水管路共同组成2.0.8微滤(MF)microfiltration2.0.16背压调节阀组back pressure regulation unit通常指在外压作用下,利用筛网状过滤介质膜的“筛分”作用设于纯水回水管路末端,通过调节阀通径大小的变化来推持、进行分离的膜分离技术调节纯水供回水管路压力的调节阀组·2·3·興尚闐素衬网ZS沁
3精处理阶段应保证不间断地满足最终产水水质、水量和水3纯水制备工艺压等要求3.1,8系统设计中每个水处理装置的出水水质应满足后续处理装置的进水水质要求,水处理装置的进水水质应根据制水设备的3.1一般规定要求确定。水质要求较高或有多项水质指标时尚应符合最终水质的要求。3.1,1电子工业纯水系统应根据电子产品生产工艺要求,合理确3.2预处理定纯水制备系统的规模和供水水质。3.1.2电子工业纯水系统制水流程和设备的选择应根据对纯水3.2,1预处理系统需要达到的水质指标应根据所选脱盐装置的水质的要求、原水水质以及运行管理水平,并结合处理效果,原水进水水质要求确定,缺乏资料时可按表3.2.1选择。脱盐处理单的利用率,节能,环保等因素,经技术经济比较确定元采用反渗透工艺时,预处理系统应根据水质特点采收有效防止结3.1,3电子工业纯水系统应根据最终产品水水质要求选择简捷、垢等化学污染,以及防止生物有机物及铁锰金属离子等污染的措施。有效的处理流程和可靠的处理设备,、么二力表3,工」离子交换,电漫析,反渗透及电除盐装置进水水质要求3.1.4纯水站的产水量应根据各类贮最水加系百用水量确定习离子交类电接所工反带透电除盐3.1.5电子工业纯水系统设计前应取得金部用东源的水质SDI<5<><5<>全分析资料,并应选择有代表性的水质分析资料作为设计依据,对流再生<2<>水质全分析报告格式应符合本规范附录A的要求。水质资料的浊度<1<>顺液再生获取应符合下列要求:水测(℃)5-40s5-405-355-401水源为地表水时宜取得全年逐月水质资料。PH2-113-92水源为地下水时宜取得全年每季的水质资料C(O《mw/.)<2<><3<><3<><0.5(tc计)<>3当无法得到逐月或逐季资料时,应掌握水质随季节的变化等离氯(mg/)(以(表余)<0.1<><0.3<><0.1<>0.05含铁量(mg/L)(以Fe表示)<0.3<><0.3<><0,03<><0.01<>规律。含锰量(m/L)(以Mn表示)c0.1(两项合计)3.1.6对可能受到海水倒灌或其他因素影响的水源,应掌握由此总硬度(mg/L(以CC,表示)<1<>面引起的水质变化情况。对于来自生产过程中的回用水,应雾握总含盐量《mg/儿》<10-25<>其来源与组成。二氧化硅(mg/儿)<0.5<>3,1.7电子工业纯水制备系统应由预处理,脱盐及深度处理和精佳,1盈就日型树醋,丙蜗酸辑脂的进水水围不应大于35气,处理组成,各阶段达到的目标应符合下列婴求:?附对凝胶显强城刚肉子交换树酯的要浪,·1预处理阶段水质应满足脱盐装置进水水质的要求。3.2.2原水浊度较高时宜采用凝聚澄清过滤工艺,设计参数可按2脱盐及深度处理阶段产水水质应接近最终产水水质要求。现行国家标准《室外给水设计规范GB50013的有关规定执行:原。5理罚素前网Z.Z沁
水采用含低密度、疏水性悬浮物较高的地面水水源时,宜加设气浮表3,2,2-2气水反洗过滤器设计参数分离工艺:原水采用城市自来水时,宜采用微絮凝过滤、微滤或超先气冲洗气水同时冲洗后水冲洗滤等处理工艺。纯水系统预处理设计应符合下列要求:序号过迪题类别强度历时气强度水强度历时强度历时1过滤器的设计产水量应包括后续处理装置要求的供水量(./A+m2)(min(/s·m)(l./*m2)(mn)./+m2)mun)级配石英砂12-183-112-183-44-37-9及过滤器的白耗水量。过滤器台数不宜少于2台7-52过滤器的过滤周期应根据进出水质,滤料截污能力等因双层选料15-203-16.5-106-5素确定。每台设备每昼夜反洗次数宜为1次~2次」均颜石英砂13-172-113-17344-34一88=53絮凝剂的选用和加药量的确定应根据进水浊度,水温、pH3.2.3原水中铁锰含量不能满足后续装置进水要求时,应采取除值及碱度等因素的影响,以及相似水质的工程运行经验或试验资铁锰措施,设计参数可按现行国家标准《室外给水设计规范料,经技术经济比较后确定,。GB50013的有关规定执行4絮凝剂投加点宜设置于原水加压泵吸人段或在进人过滤3.2.4活性炭过滤器应根据进水水质、处理要求和活性炭的种类器前设置静态混合器。进行设计,活性炭过滤器的设计参数可按表3,2.4的要求确定5微絮凝聚过滤的过滤器的设计参数可根据表3.2?1的活性炭过滤器用于去除游离余氯时,可取较高滤速,去除有机物要农硅相德器采用气水辰镜商屋沉购素新网时,可取较低滤速要求选用表3,2,4活性炭过滤器设计参数6采用微滤、超滤除浊时,应采取完善的自动反洗和化学清速料粒轻速反高度滤速反洗强度反洗历时项目洗措施。微滤、超滤前宜设置预过滤器,其过滤精度可根据所选用(mm)(mm)(m/h)(n/h)(mnin参数08-1.2900-20008-1620-245-15的微滤和超滤产品的进水水质要求确定7微滤、超滤和活性炭过滤并用时,活性炭过滤应置于微滤、3.2.5防止反渗透膜结垢的设计应符合下列要求:超滤之后1采用投加阻垢剂防止反渗透设备结垢时,应根据原水水质表3.2.21微絮凝聚过滤器的设计参数和药剂的技术说明选择药剂品种和投加量。2采用钠离子交换软化或复床式离子交换降低原水的硬度诚速序号过德器类别粒径不均匀系床商《m/h)强度历时和碱度时,离子交换器的设计参数可按本规范附录B的要求选(mm)(Ko)(m)(l./s·m)(min用。d=0.35极配石英砂<2.0<>0.7-0.8G6.514-156一-8,=0.53采用调节H值降低碳酸盐硬度时,宜采用盐酸。d=0.8无据焊<41.5<>0.43,2.6采用药剂氧化法降低有机物和抑制微生物时,其加氯量应双园d=1.27-915-167-8过料d0.4根据原水中的有机物含量计算。对经过混凝沉淀及过滤处理后的石英<1.5<>0.4.=0,8原水或清净的地下水,加氯量可采用0.5mg/L一1.0mg/L.d0.9均质石英砂d.=1,21,1-1.61.1-1.27.5-8.514-153.2.7原水经氧化处理或原水余氯含量超过后续处理装置的进·7+理贸Z.ZC.ET
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